Halbleiter und Nanotechnologie

Optische Systeme von Castellhoff Optik in Wafersteppern und Waferscannern werden für die Produktion immer leistungsfähigerer Microchips eingesetzt. Calciumfluorid als optisches Linsenmaterial ist das Schlüsselmaterial in der Microlithographie. Das Verfahren (Photolithographie) gleicht einem Diaprojektor, der die Struktur des Halbleiter-Bauelementes auf einen mit Photolack beschichteten Wafer überträgt.